先進智造下，智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展--廣東

導(dǎo)讀：廣東制造業(yè)在“十三五”期間取得長足進步。省工信廳黨組成員、副廳長吳東文介紹，2020年廣東規(guī)模以上工業(yè)增加值達3.31萬億元，規(guī)上工業(yè)企業(yè)達5.4萬家，新一代電子信息、綠色石化、家電等萬億產(chǎn)業(yè)集群在全國占據(jù)重要位置，制造強省建設(shè)取得積極成效。“十四五”期間，廣東將圍繞打造新發(fā)展格局戰(zhàn)略支點，建設(shè)全球先進制造業(yè)基地和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新高地，鞏固工業(yè)在經(jīng)濟體系中的支柱地位，制造業(yè)占GDP比重保持在30%的水平。

       近年來，廣東省出臺了一系列政策支持發(fā)展先進、智能傳感器，目前主要以廣州、深圳中心城市為主并形成了一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。

       2020年9月，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園正式啟動，明確廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園以廣州開發(fā)區(qū)為試點，推動智能傳感器技術(shù)創(chuàng)新，促進智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展。

       2021年8月，廣東省政府正式發(fā)布《廣東省制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展“十四五”規(guī)劃》(以下簡稱《規(guī)劃》)。梳理《規(guī)劃》內(nèi)容不難發(fā)現(xiàn)，對于智能傳感器產(chǎn)業(yè)的布局，廣深兩市被寄予厚望。

       另外，《規(guī)劃》指出，在芯片設(shè)計方面，廣州重點發(fā)展智能傳感器、射頻濾波器、第三代半導(dǎo)體，建設(shè)綜合性集成電路產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)；芯片制造方面，廣州以硅基特色工藝晶圓代工線為核心，布局建設(shè)12英寸集成電路制造生產(chǎn)線，深圳定位28納米及以下先進制造工藝和射頻、功率、傳感器、顯示驅(qū)動等高端特色工藝，推動現(xiàn)有芯片制造生產(chǎn)線產(chǎn)能和技術(shù)水平提升；在封測方面，廣州發(fā)展器件級、晶圓級MEMS封裝和系統(tǒng)級測試技術(shù)等。

       產(chǎn)業(yè)集聚和規(guī)模根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院梳理，截至2021年9月，廣東省企業(yè)中，企業(yè)名稱或者經(jīng)營范圍內(nèi)含有“智能傳感器”的大中小企業(yè)共79212家。按注冊資本劃分，注冊資本在100萬以下的企業(yè)有21238家，100-500萬的有31787家，500-1000萬的有12536家，1000萬以上的有13542家，占比分別為26.85%、40.18%、15.85%以及17.12%。

廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園

       2020年9月，廣東省、廣州市、廣州開發(fā)區(qū)三級聯(lián)動啟動共建廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園，這是廣東省內(nèi)首個傳感器產(chǎn)業(yè)園。以廣州開發(fā)區(qū)為試點，力爭5年內(nèi)建成立足粵港澳大灣區(qū)輻射全國、具有國際影響力的智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。

       廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園位于廣州人工智能與數(shù)字經(jīng)濟試驗區(qū)（魚珠片區(qū)）北側(cè)，總占地面積約10.79萬㎡，建筑面積49.8萬㎡，總投資26.8億元。

       成立一年后，廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園已拔地而起，首批功能性建筑“粵港澳大灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園運營中心”已于今年6月28日投入使用。2021年11月廣東智能傳感器產(chǎn)業(yè)園一期項目主體結(jié)構(gòu)封頂，進入快速推進階段。

       另外，2021年11月2日，第24屆中國集成電路制造年會上，由興橙資本作為發(fā)起人組建的灣區(qū)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集團舉行成立儀式。集團計劃注冊資本100億元，在海外購買IMEC技術(shù)授權(quán)，將上海乃至全球的先進傳感器技術(shù)在大灣區(qū)應(yīng)用推廣。集團將快速打造核心產(chǎn)業(yè)平臺，建設(shè)對標世界先進水平的12英寸MEMS傳感器量產(chǎn)線、12英寸晶圓級MEMS傳感器封裝和SIP系統(tǒng)級傳感器封測量產(chǎn)線，在增城南香山打造千畝空間的產(chǎn)業(yè)園。

       產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè) 目前，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展中，涌現(xiàn)出多個代表性機構(gòu)和骨干企業(yè)，涵蓋研究開發(fā)、材料元件、設(shè)計制造、應(yīng)用終端等、逐漸形成“主體集中、區(qū)域集聚、技術(shù)先進、應(yīng)用繁榮”的產(chǎn)業(yè)鏈圈。

       其中，根據(jù)官方數(shù)據(jù)，廣州開發(fā)區(qū)內(nèi)擁有金發(fā)科技等傳感器基礎(chǔ)材料企業(yè)超10家，擁有國家納米科學(xué)中心納米智能傳感器項目及其量產(chǎn)的6寸壓電IDM晶圓產(chǎn)線、南方電網(wǎng)總部及其數(shù)字電網(wǎng)研究院、廣東省目前唯一量產(chǎn)的12英寸芯片虛擬IDM項目粵芯半導(dǎo)體、全球CTP行業(yè)龍頭企業(yè)愛司凱、國內(nèi)領(lǐng)先的MEMSIDM傳感器公司奧松電子等傳感器設(shè)計制造和封裝測試企業(yè)15家，以及傳感器應(yīng)用終端企業(yè)70家以上，如專注于機器視覺精密測量和工業(yè)自動化技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新企業(yè)海伯森技術(shù)等。

主要研發(fā)機構(gòu)

（以下是不完全名單）

中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院

       根據(jù)中央建設(shè)創(chuàng)新型國家的總體戰(zhàn)略目標和國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃綱要，結(jié)合中國科學(xué)院科技布局調(diào)整的要求，圍繞深圳市實施創(chuàng)新型城市戰(zhàn)略，2006年2月，中國科學(xué)院、深圳市人民政府及香港中文大學(xué)友好協(xié)商，在深圳市共同建立中國科學(xué)院深圳先進技術(shù)研究院（以下簡稱“深圳先進院”），實行理事會管理，探索體制機制創(chuàng)新。

深圳清華大學(xué)研究院

       重點研究方向：力敏傳感器、生物傳感器、紅外傳感器、微納傳感器等

       由深圳市政府和清華大學(xué)聯(lián)合建立，是一個高層次、綜合性、開放式的產(chǎn)學(xué)研實體，我國華南地區(qū)科技創(chuàng)新的很重要基地。清華研究院平均每年申報專利100項，超過15項成果實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，直接由技術(shù)創(chuàng)新產(chǎn)生的價值超過10億元。

營商環(huán)境

       優(yōu)化營商環(huán)境是激發(fā)市場主體活力的關(guān)鍵，廣東近年來持續(xù)推進營商環(huán)境改革，進一步瞄準最高標準、最高水平開展先行先試，在打造市場化法治化國際化營商環(huán)境上形成了可復(fù)制可推廣的“廣東經(jīng)驗”。

       《2021年廣東省營商環(huán)境評價報告》顯示，廣州、深圳為全省標桿，兩市納入首批國家營商環(huán)境創(chuàng)新試點城市。作為傳感器產(chǎn)業(yè)重點布局的城市，廣州在2020年國家營商環(huán)境評價中廣州市位居全國前列，全部18個指標獲評全國標桿；在廣東省營商環(huán)境評價中位居第一；近日華南美國商會發(fā)布的年度調(diào)查報告顯示，廣州連續(xù)4年被受訪企業(yè)列為最熱門的投資城市。

       創(chuàng)新活力和人才資源 廣東人才和科技綜合實力一直處在全國前列且不斷增強。據(jù)科技部組織編寫的《中國科技人才發(fā)展報告2020》（下稱“報告”）顯示，2019年，廣東R&D人員達80.3萬人年，居全國首位，超過西部12省份之和，是東北三省總量的4.3倍。

       另外，據(jù)2020年《中國城市科技創(chuàng)新發(fā)展報告》顯示，廣東省內(nèi)深圳、廣州、珠海、東莞、佛山、中山、江門、惠州、肇慶、汕頭10地的科技創(chuàng)新發(fā)展指數(shù)均高于全國0.3325的平均值。其中，深圳市和廣州市均位全國前列。2020年，中國社科院與經(jīng)濟日報發(fā)布《中國城市競爭力第18次報告》中，深圳名列前茅，廣州緊跟其后。廣東省內(nèi)其他城市在報告中也有不俗的表現(xiàn)。

       隨著對高端人才求賢若渴，廣東各地的人才政策不斷轉(zhuǎn)向打造“一站式”貼心配套服務(wù)的組合拳。廣東在省人才服務(wù)局設(shè)立廣東省高層次人才服務(wù)專區(qū)（加掛中央“國家高級人才計劃”廣東省服務(wù)窗口），為包括來粵科研工作的海內(nèi)外高層次人才在內(nèi)的院士、領(lǐng)軍人才、國家“國家高級人才計劃”專家等符合條件的12類高層次人才提供26項“一站式”政務(wù)服務(wù)。

       專項扶持政策 2020年9月，黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)出臺《廣州市黃埔區(qū)、廣州開發(fā)區(qū)、廣州高新區(qū)促進智能傳感器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展若干措施》（簡稱“智能傳感器20條”）。該措施也是粵港澳大灣區(qū)首個區(qū)縣級智能傳感器產(chǎn)業(yè)專項政策。

       據(jù)悉，“智能傳感器20條”在技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)、平臺、人才等方面加大對智能傳感器傾斜支持力度。

       其中，研發(fā)費最高可獲100萬元補助；技術(shù)交易中涉及專利轉(zhuǎn)讓且包含核心技術(shù)發(fā)明專利并在本區(qū)實現(xiàn)轉(zhuǎn)化的每年最高可獲1000萬元獎勵；企業(yè)打造國家級實驗室、國家工程技術(shù)研究中心、國家企業(yè)技術(shù)中心等最高可獲獎勵300萬元。

       在MEMS制造新動能上，“智能傳感器20條”以MEMS產(chǎn)業(yè)為核心，加快智能傳感器設(shè)計、制造、封裝、測試等多環(huán)節(jié)協(xié)調(diào)合作發(fā)展，鼓勵智能傳感器設(shè)計、制造、封測和應(yīng)用環(huán)節(jié)龍頭及配套企業(yè)落地生根。落戶獎勵最高1000萬元；對產(chǎn)值1億元以上且同比增長10%以上的智能傳感器制造型企業(yè)給予最高5000萬元獎勵。

       此外，“智能傳感器20條”還鼓勵智能傳感器與工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)融合關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備研發(fā)及規(guī)模應(yīng)用，如機械臂、AGV導(dǎo)航車、AOI檢測等智能傳感器設(shè)備在工業(yè)生產(chǎn)、搬運、檢測、維護等領(lǐng)域應(yīng)用。對國家、省工信部門認定的智能制造試點示范項目企業(yè)最高給予200萬元獎勵，對獲得市級以上產(chǎn)業(yè)發(fā)展扶持的，最高獎勵500萬元。

       順應(yīng)地方政策管理，海伯森堅持技術(shù)創(chuàng)新和助力實現(xiàn)高端傳感器的國產(chǎn)化替代，在機械臂末端控制應(yīng)用上，自主研發(fā)六維力傳感器HPS-FT系列，實現(xiàn)高端工業(yè)生產(chǎn)的柔性裝配和超精密力控打磨。在機器視覺定位識別上，海伯森創(chuàng)新推出寬視野3D面陣固態(tài)激光雷達HPS-3D系列，實現(xiàn)AGV導(dǎo)航車搬運和作業(yè)的區(qū)域安全避障，除此之外，榮獲第二十二屆高交會優(yōu)秀創(chuàng)新產(chǎn)品獎的超高速工業(yè)相機HPS-HC系列，可以應(yīng)用于產(chǎn)線來料高速運動檢測和讀碼分析。在AOI檢測領(lǐng)域，海伯森獨樹一幟，突破國外“卡脖子”技術(shù)，研發(fā)出中國首臺3D線光譜共焦傳感器，并在實現(xiàn)量產(chǎn)后迅速開拓HPS-LCF產(chǎn)品系列，另外，光譜共焦位移傳感器HPS-CF系列獲得恰佩克工業(yè)零部件模塊的創(chuàng)新產(chǎn)品獎。未來，海伯森將推出更多高性能的智能傳感器產(chǎn)品，為國產(chǎn)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻力量；通過身體力行，為廣東省智能傳感器中小企業(yè)發(fā)展提供經(jīng)驗和借鑒。