線長(zhǎng)5.9mm，量程3mm，Z軸重復(fù)性0.1μm
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線長(zhǎng)5.9mm，量程2.4mm，Z軸重復(fù)性0.2μm
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重復(fù)性0.4μm 2σ，最小可測(cè)刀具直徑Φ20μm，最高對(duì)刀專屬（主軸轉(zhuǎn)速）200,000rpm
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線長(zhǎng)13mm，量程6mm，Z軸重復(fù)性0.15μm
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重復(fù)性0.3μm 2σ，最小可測(cè)刀具直徑Φ20μm，最高對(duì)刀轉(zhuǎn)速（主軸轉(zhuǎn)速）200,000rpm
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160*60，0.25~8m，F(xiàn)OV:76*32deg
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Φ94mm，9.09±1.2mm，±62°
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2路PNP/NPN光耦隔離輸出，2000Hz開(kāi)關(guān)頻率
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電源19V≥3A，功率55w，光耦隔離
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粵公網(wǎng)安備44030602003691號(hào)